尼康BW白光干涉儀

簡(jiǎn)要描述：可實(shí)現(xiàn)精確的亞納米表面輪廓非接觸式測(cè)量。
尼康*的掃描式光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)了1皮米（pm）的高度分辨率。尼康提供多種光學(xué)顯微鏡作為測(cè)量系統(tǒng)，以適應(yīng)廣泛的測(cè)量應(yīng)用。

產(chǎn)品型號(hào)： BW

所屬分類(lèi)：尼康金相顯微鏡

更新時(shí)間：2024-03-19

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詳細(xì)說(shuō)明：

尼康BW系列白光干涉儀

在2017年被日本光學(xué)協(xié)會(huì)授予光設(shè)計(jì)特別大獎(jiǎng)，獲獎(jiǎng)原因是其在白光干涉的分辨率有飛躍性的提高，控制噪音達(dá)到很高的水平，之前難以測(cè)量的超平滑表面的性能特征，實(shí)現(xiàn)了定量測(cè)定。

可實(shí)現(xiàn)精確的亞納米表面輪廓非接觸式測(cè)量。

尼康*的掃描式光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)了1皮米(pm)的高度分辨率。尼康提供多種光學(xué)顯微鏡作為測(cè)量系統(tǒng)，以適應(yīng)廣泛的測(cè)量應(yīng)用。

測(cè)量精度&重復(fù)性

尼康BW系列產(chǎn)品具有很高的高度解析能力和重復(fù)測(cè)量精度，美國(guó)VLSI公司生產(chǎn)的8.9nm臺(tái)階是世界上目前被認(rèn)證的小高度標(biāo)準(zhǔn)樣，其擴(kuò)展不確定度為0.6nm，而尼康BW白光干涉儀經(jīng)過(guò)十次測(cè)量結(jié)果全部在擴(kuò)展不確定度范圍內(nèi)，且標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.03nm。

測(cè)定穩(wěn)定性

白光干涉儀光源的中心波長(zhǎng)是隨著時(shí)間不斷變化的，尼康的BW系列白光干涉儀，由于算法與波長(zhǎng)無(wú)關(guān)，測(cè)定的結(jié)果在任何時(shí)間點(diǎn)都可以保證*性，保證了用戶(hù)測(cè)量結(jié)果具備很高的重復(fù)性和再現(xiàn)性。

高度測(cè)量*性

與傳統(tǒng)的利用光學(xué)景深進(jìn)行三維重構(gòu)的超景深顯微鏡和將景深減小更精細(xì)還原三維表面的共聚焦相比，BW系列白光干涉儀每個(gè)倍率下高度分辨率都是1pm，可以實(shí)現(xiàn)每個(gè)倍率測(cè)量結(jié)果的高度統(tǒng)一，而共聚焦或者超景深在低倍的鏡頭測(cè)量，由于其分辨率的下降，導(dǎo)致測(cè)量精度變差。而且尼康BW白光干涉儀分辨率遠(yuǎn)高于共聚焦高倍物鏡。