白光干涉儀也叫邁克爾遜干涉儀，是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。

于非接觸式快速測(cè)量，精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸，其測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)！目前，在3D測(cè)量領(lǐng)域，白光干涉儀是精度zui高的測(cè)量?jī)x器之一。

 

白光干涉儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？

答：白光干涉儀載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量，檢測(cè)效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù)；

 

該儀器所測(cè)的樣品一般都具備哪些特征，主要檢測(cè)哪些參數(shù)，檢測(cè)方式如何？

答：電子消費(fèi)品領(lǐng)域，由于測(cè)量的多為玻璃制表面，因而多具備透明度高、超光滑（粗糙度多在1nm以下）這兩個(gè)特征，檢測(cè)方式上一般都采用從生產(chǎn)的批量中抽檢部分，再在樣品上抽取一大概的特定區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)，主要檢測(cè)的是器件的表面粗糙度，其次為臺(tái)階高，曲率半徑參數(shù)也會(huì)檢測(cè)，但不是主要需求參數(shù)；

 

半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域主要是檢測(cè)硅片的表面粗糙度，也是采用從批量硅片中抽若干片進(jìn)行檢測(cè)的方式進(jìn)行，在抽檢的硅片上抽點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)，主要需求參數(shù)為粗糙度，其次為臺(tái)階高；

 

產(chǎn)品用途：

結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。